日本アイ・ビー・エム株式会社（以下、日本IBM）は、半導体製造プロセスの基幹システムである「IBM IndustryView for Semiconductor Standard（以下、SiView Standard）」を、Rapidus株式会社（以下、Rapidus）の最先端半導体製造拠点であるIIM-1（北海道千歳市）に導入し、2025年4月より稼働開始したことを発表しました。これにより、最先端の半導体製造における生産性向上と品質管理の高度化を実現し、Rapidusが目標として掲げている国内初の2nmプロセス・ロジック半導体の量産開始に向けた技術基盤を支えます。

SiView Standardは、1980年代に滋賀県のIBM野洲工場で活用された自社用ソリューションを起源とし、約30年にわたり国内外の半導体工場への豊富な展開実績を有する製造実行システム（MES：Manufacturing Execution System）です。装置・搬送機器の制御、大規模データの収集・処理、工程の統合管理など、多岐にわたるコンポーネントで構成され、工場の自動化、高効率運用、稼働率向上を実現します。

SiView Standardの導入は、IBMとRapidusの強固な関係に基づくものです。両者は、2022年12月に、IBMの2nm半導体技術を大量生産が可能なレベルまで進化させるための契約を締結しました。Rapidusの協力のもと、高速シミュレーターを始めとして、SiView Standardが備える装置インテグレーション・アプリケーション(Multi-threaded Machine Supervisory Program)やワークフロー基盤 (SiView Sense and Respond)のほか、装置保全を実現する資産管理ソリューションまでを広く適用し、工場運用を支えています。さらに、これらの複数モジュールを活用・連動させることで、過去に例を見ないほどの早さでフルオートメーション運用（ロット・ディスパッチングから自動搬送および半導体装置での着工・完工の完全自動化運用）を実現しました。

また、IIM-1建設前にデジタルツイン技術によって実装した仮想ファブ上での能力検証が出来たことで、短期間での実装・立ち上げを実現しました。

これらのRapidusとの協業による一連の取り組みが、Rapidusのパイロット生産を支え、現在、2nm評価用チップの生産をサポートしています。

IBMは、SiView Standardの開発・導入支援のみならず、専門知識とITスキルを融合させ、今後もさらなる生産性向上を図ることで、半導体製造におけるRapidusの継続的な革新への取り組みを支援してまいります。

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